極紫外光微影製程 (EUV)技術是次世代微影技術之一,
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,被半導體業視為跨入10奈米製程以下,
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,取代傳統浸潤式曝光(Immersion)、延續摩爾定律的一項重要微影技術。浸潤式曝光機台是在光源與晶圓中間加入水的原理,
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,使波長縮短到132奈米的微影技術;EUV曝光設備是利用波長極短的紫外線,
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,在矽基板上刻出更微細的電路圖案。EUV售價昂貴,
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,一台售價高達7,000萬歐元(約新台幣25.6億元),主力設備開發廠艾司摩爾(ASML)為降低開發風險,過去曾要求英特爾、三星及台積電以入股,共同參與這項先進微影技術開發,如今相關量產設備已陸續出貨,和浸潤式曝光機搭配使用,開始導入在10奈米以下先進製程。,